全自動延伸カット機 Auromatic expander cut machine
装置の概要
１．延伸エキスパンダー装置はダイシングテープ上にマウントされたダイシング済のウエハーを、
ダブルリングを用いてエキスパンドと自動切断を行う装置です。
２．エキスパンドはダブルリングの加圧によるはめ合わせにて行います。
この際、粘着テープ・ウエハーをヒーター加熱し、
インナーアウターリングのはめ合わせが完全になるようにしています。
又、ヒーターの加熱と延伸プレートで延伸量の均一化を計っています。
３．タッチパネルに操作手順が表示されます。又、エラー内容も表示されるので適切な処置をとれます。
４．延伸後のフレームとダブルリングの切断を自動的に行い、
延伸後のリング収納を自動的に行い作業の向上を計っています。
ウェハー移載機 Wafer transfer
１．移し替え時間の短縮
２．ウェハーの保護
３．ダストの減少を図り、コストダウンに寄与することを目的に設計製造したものです。
<参考文献>
・鈴木八十二編、「よくわかるエコ・デバイスのできるまで」
日刊工業新聞社、P.33～P.36
・鈴木八十二編、「トコトンやさしいエコ・デバイスの本」
日刊工業新聞社、P.66
省スペース型ウェーハー移載機 Space saving wafer tranfer
UVランプ洗浄機 Uv lamp washing machine
ゴミなどがチップ上にあると初期不良や経時変化が発生するので
LEDチップを樹脂で覆いかぶせる前にUV洗浄を行う。
洗浄方式：紫外線照射によるドライ洗浄でコストダウン！